某些制造業(yè)的潔凈車(chē)間除了空氣潔凈度外，還有嚴格的溫度、濕度要求，如果溫濕度控度不好，潔凈車(chē)間環(huán)境可能會(huì )產(chǎn)生負面影響，從而使產(chǎn)品的品質(zhì)下降，比如滋生**，金屬腐蝕、出現靜電荷、水汽冷凝等現象都會(huì )對生產(chǎn)流程有**影響、甚至危害。
在潔凈車(chē)間設計中，對室內濕度的控制是需要較高技術(shù)含量的。潔凈車(chē)間內的相對濕度，可以通過(guò)局部濕度來(lái)控制，如果室內濕度較高的話(huà)，可通過(guò)恒溫恒濕控制系統降低冷凍盤(pán)管流出空氣的溫度來(lái)加強除濕。與此同時(shí)，通過(guò)再熱盤(pán)管提供熱量來(lái)保持室內溫度。如果需要精準控制濕度，可以通過(guò)精密空調的新風(fēng)絕熱增濕效果來(lái)實(shí)現。
潔凈車(chē)間內的相對濕度，也可以通過(guò)超聲波濕度調節設備來(lái)控制，需要把超聲波濕度調節元件安裝在終過(guò)濾前的風(fēng)管靜壓箱內。此外，還要注意用水水質(zhì)與水電陰率，前者為RO/DI，后者為3-5mgm。
關(guān)于相對濕度的設計控制范圍。如果低于控制范圍，恒溫恒濕設備會(huì )啟動(dòng)濕度調節功能，以便增加新風(fēng)含水量。如果高于控制范圍，恒溫恒濕設備會(huì )降低新風(fēng)控制冷凍盤(pán)管流出空氣的露點(diǎn)溫度，以便增強除濕效果。